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精密模具制造
精密工裝夾具
精密部件加工
PRESS部件生產(chǎn)
自動化生產(chǎn)加工設(shè)備
精密部件加工的主要技術(shù)概覽
精密部件加工是一個對精度和質(zhì)量要求很高的制造領(lǐng)域,其核心在于…[更多信息]
概述精密工裝夾具的結(jié)構(gòu)特點
淺析沖壓件生產(chǎn)流程概述
 
 
 
基于微機(jī)器人的超精密加工技術(shù)
 
發(fā)布時間:2015/3/20 9:46:54

 日本的一些學(xué)者提出了利用微機(jī)器人進(jìn)行超精密加工的概念,這一概念突破傳統(tǒng)加工觀念,設(shè)計出可以自由移動的微小機(jī)器人,讓機(jī)器人群在工件上爬,可實現(xiàn)納米級超精密加工。

  機(jī)構(gòu)的小型化可以節(jié)約資源和能源,并且由于零件尺寸的減小,從而提高了單位體積和重量的功能的集成度。小型化也開辟了許多新的應(yīng)用領(lǐng)域,比如在工業(yè)上的遙操作或細(xì)胞生物領(lǐng)域的應(yīng)用。源于微電子技術(shù)的硅微加工工藝對于機(jī)構(gòu)的小型化有著重大影響,它在同一個零件上集成了機(jī)械和電子功能,非常適合于加工MEMS系統(tǒng)。微機(jī)器人在超精密加工領(lǐng)域中的應(yīng)用主要有以下幾種方式:微加工機(jī)器人,宏微機(jī)器人雙重驅(qū)動,機(jī)床與機(jī)器人結(jié)合,掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡等。

  對于微小零件的精密加工中存在的主要問題是:如何以微觀精度和低成本實現(xiàn)微小零件的加工與裝配。由于基于傳統(tǒng)方法的加工產(chǎn)生驅(qū)動誤差補(bǔ)償和溫度補(bǔ)償控制需要消耗大量能量,近些年來,基于IC工藝和深層X射線技術(shù)也被成功用于復(fù)雜工藝的微機(jī)械零件的加工,但是,被加工材料局限性大,加工和維護(hù)的費用也很昂貴。而攜帶有各種微操作、加工、測量工具的微小機(jī)器人,不僅可以進(jìn)行精密零件的加工、檢驗和裝配,還可以合作完成一些大型機(jī)床難以完成的工序。因此,基于微機(jī)器人的超精密加工成為實現(xiàn)超精密加工的一種有效方式。

 
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