日本的一些學者提出了利用微機器人進行超精密加工的概念，這一概念突破傳統加工觀念，設計出可以自由移動的微小機器人，讓機器人群在工件上爬，可實現納米級超精密加工。
機構的小型化可以節約資源和能源，并且由于零件尺寸的減小，從而提高了單位體積和重量的功能的集成度。小型化也開辟了許多新的應用領域，比如在工業上的遙操作或細胞生物領域的應用。源于微電子技術的硅微加工工藝對于機構的小型化有著重大影響，它在同一個零件上集成了機械和電子功能，非常適合于加工MEMS系統。微機器人在超精密加工領域中的應用主要有以下幾種方式：微加工機器人，宏微機器人雙重驅動，機床與機器人結合，掃描隧道顯微鏡和原子力顯微鏡等。
對于微小零件的精密加工中存在的主要問題是：如何以微觀精度和低成本實現微小零件的加工與裝配。由于基于傳統方法的加工產生驅動誤差補償和溫度補償控制需要消耗大量能量，近些年來，基于IC工藝和深層X射線技術也被成功用于復雜工藝的微機械零件的加工，但是，被加工材料局限性大，加工和維護的費用也很昂貴。而攜帶有各種微操作、加工、測量工具的微小機器人，不僅可以進行精密零件的加工、檢驗和裝配，還可以合作完成一些大型機床難以完成的工序。因此，基于微機器人的超精密加工成為實現超精密加工的一種有效方式。 |
精密部件加工的主要技術概覽
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