超精密加工技術(shù)在國防工業(yè)、信息產(chǎn)業(yè)和民用產(chǎn)品中都有著廣泛的應(yīng)用前景。在國防工業(yè)中，導(dǎo)彈陀螺儀的質(zhì)量直接影響其命中率，1kg的陀螺轉(zhuǎn)子，其質(zhì)心偏離對稱軸0.0005μm，就會引起100m的射程誤差和50m的軌道誤差。在宇航技術(shù)中，衛(wèi)星的姿態(tài)軸承為真空無潤滑軸承，其孔和外圓的圓度及圓柱度均為納米級。衛(wèi)星用的光學(xué)望遠(yuǎn)鏡、電視攝像系統(tǒng)、紅外傳感器等，其光學(xué)系統(tǒng)中的高精度非球面透鏡等都必須經(jīng)過超精密車、磨、研、拋等超精密加工。此外，大型天體望遠(yuǎn)鏡的透鏡、紅外線探測器反射鏡，激光核聚變用的曲面鏡等都是靠超精密加工才能制造。在信息產(chǎn)業(yè)中，計算機芯片、磁盤和磁頭，復(fù)印機的感光鼓等都要經(jīng)過超精密加工才能達到要求。民用產(chǎn)品中的許多產(chǎn)品，如隱形眼鏡，就是用超精密數(shù)控車床加工而成的。
實現(xiàn)超精密加工的方法主要有：超精密切削，如超精密金剛石刀具鏡面車削、鏜削和銑削等；超精密磨削、研磨和拋光；超精密微細(xì)加工（電子束、離子束、激光束加工以及硅微器件的加工、LIGA技術(shù)等）。
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精密部件加工的主要技術(shù)概覽
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